化成車間-模組全尺寸産品檢測
模組頂蓋 CCS 及輸出極位置度;
模組總長;
水冷闆距端闆側面距離;
水冷闆底部距側闆支撐面距離;
水冷闆距端闆距離;
系統精度:0.05~0.1mm
系統配置(VTS-LV-200 3D相機;VisionMAX視覺軟件)